| 报告时间 | 股东名称 | 持股数量(股) | 占总股本比例(%) |
| 2023-06-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 39,252,584 | 4.22 |
| 2023-03-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 48,558,810 | 5.22 |
| 2022-12-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 48,558,810 | 5.07 |
| 2022-09-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 48,558,810 | 5.07 |
| 2022-06-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 48,558,810 | 5.07 |
| 2022-03-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 48,558,810 | 5.07 |
| 2021-12-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 58,138,052 | 6.07 |
| 2021-09-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 62,281,785 | 6.50 |
| 2021-06-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 67,717,336 | 7.07 |
| 2021-03-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 67,717,336 | 7.07 |
| 2020-12-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 67,717,336 | 7.07 |
| 2020-09-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 67,717,336 | 7.07 |
| 2020-06-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2020-03-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2019-12-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2019-09-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2019-06-30 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2019-03-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2019-01-08 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2018-12-31 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |
| 2018-12-25 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 56,431,113 | 7.00 |