| 报告时间 | 业绩类型 | 业绩预告内容 | 业绩变动原因 | 报告时间 | 操作 |
| 2022-12-31 | 业绩大幅上升 | 预计公司2022年01-12月归属于母公司所有者的净利润为60000万元-72000万元，与上年同期相比增长125.35%-170.42%。 | 公司2022年度业绩较上年同期增长的主要原因为：（一）受益于国内半导体行业设备需求的不断增加，销售订单持续增长；（二）新客户拓展、新市场开发等方面均取得一定成效；新产品得到客户认可，订单量稳步增长；（三）报告期内，公司的行业竞争力不断增强，产品组合中高毛利产品占营业收入比例增加，综合毛利率有所提高；公司不断提升管理水平，严控成本及各项费用，降本增效，公司盈利水平持续提升。 | 2023-01-31 | 详情 |
| 2021-09-30 | 业绩预增 | 预计公司2021年01-09月归属于母公司股东的净利润为15384.22万元-18176.14万元，与上年同期相比增长25.60%-48.40%。 | 未披露。 | 2021-08-17 | 详情 |
| 2021-06-30 | 业绩大幅上升 | 预计公司2021年01-06月归属于母公司股东的净利润为5710.27万元-6627.98万元，与上年同期相比增长52.07%-76.51%。 | 未披露。 | 2021-06-10 | 详情 |